[이데일리 강민구 기자] “이처럼 차가운 아이스커피도 초소형 비냉각형 열영상 센서로 확인할 수 있습니다.” 나노종합기술원의 ‘적외선 열영상센서 공정기술’을 이전받아 센서를 양산한 기업의 관계자가 최기영 과학기술정보통신부 장관 앞에서 커피를 사례로 열영상센서를 설명한다. 테스트베드 구축현장에서는 노랗게 보이는 반도체 실험실에서 연구자들이 반도체 공정 연구를 하고 있다. 나노종합기술원이 테스트베드를 구축하거나 기업과 협력해 제품을 개발한 사례들이다.

최기영 과기부 장관은 11일 나노종합기술원을 찾아 테스트베드 구축현장을 시찰하고, 반도체 소재·부품·장비 중소기업을 비롯해 한국반도체산업협회, 삼성, SK하이닉스, ASML코리아 등 반도체 분야 관계자들과 의견을 나눴다.

시스템반도체 지원플랫폼 기술을 설명하고 있는 모습.

<이미지를 클릭하시면 크게 보실 수 있습니다>

나노종합기술원 내에 구축된 테스트베드는 대기업 양산설비와 비슷한 환경을 구축해 중소기업의 소재·부품·장비에 대한 실험·성능평가를 지원하는 역할을 한다. 지난해부터 오는 2022년까지 장비구축비 385억원, 시설 43억원, 공정개발 22억원 등 총 450억원을 투입해 기업과의 기초·적용 단계 성능평가를 수행하고, 기업의 양산평가와 연계를 추진하고 있다.

지난해 하반기부터 테스트베드에 필요한 핵심장비 10대 중 반도체 노광장비를 확보했으며, 나머지 장비들도 올해 말까지 구축해 기업을 지원할 예정이다.

시설을 활용한 성과도 속속 나오고 있다. 트루윈(적외선 열영상센서)을 비롯해 티엔에스(코로나19 진단키트), 템퍼스(비접촉식 적외선 체온계), DCT(메모리반도체용 하드마스크) 등의 양산, 기술자립 등에 성공했다.

최기영 장관은 이날 모두발언에서 “지난해 일본수출규제 이후 한국 경제는 소재부품장비 산업에 공급망 안전과 기술자립을 함께 이뤄야 하는 중대 과제 직면했다”며 “코로나19로 인한 가치사슬 재편으로 소재, 부품, 장비 산업 경쟁력강화가 국가 위기대응과 지속성장 핵심 동력이 되고 있다”고 관련 산업의 중요성을 설명했다.

최 장관은 또 일본 수출 규제가 국내 산업계에 자신감을 심어주는 계기가 됐다고 평가했다. 최 장관은 “앞으로 산학연 협력 생태계 구축이 중요하다”며 “나노종기원의 테스트 베드가 상생 협력 생태계 초석이 되길 바라며, 테스트베드를 통해 나온 소재, 부품들이 실제 수요 기업 구매로 이어질 수 있도록 노력해달라”고 당부했다.

나노종합기술원을 방문해 테스트베드 구축현장을 시찰하는 모습.

<이미지를 클릭하시면 크게 보실 수 있습니다>