[울산=뉴시스] 구미현 기자 = UNIST(울산과학기술원)는 박혜성 교수팀과 성균관대학교 강주훈 교수팀이 원자 배열의 규칙성이 우수한 이른바 '결정성'을 높인 전이금속 칼코겐 화합물을 합성하는 기술을 개발했다고 8일 밝혔다. 액체전구체와 촉진제를 이용한 2차원 반도체 합성 모식도. 2021.03.08. (사진=UNIST 제공)photo@newsis.com *재판매 및 DB 금지

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[울산=뉴시스]구미현 기자 = 국내 연구진이 실리콘을 대체할 차세대 반도체 소재를 합성하는 기술을 개발했다.

UNIST(울산과학기술원)는 박혜성 교수팀과 성균관대학교 강주훈 교수팀이 원자 배열의 규칙성이 우수한 이른바 '결정성'을 높인 전이금속 칼코겐 화합물을 합성하는 기술을 개발했다고 8일 밝혔다.

이 기술은 고체 원료만을 이용하던 기존 방식과 달리 액상 원료와 고체 원료를 함께 쓰는 방식이다. 액상원료를 쓰면 합성된 소재의 결정성이 떨어지는 문제를 촉진제로 해결했다.

연구팀에 따르면 전이금속 칼코켄 화합물 차세대 반도체 소재로 주목받고 있지만 대면적 합성이 까다롭다. 고온에서 증기로 변한 고체 전구체(원료)로 합성하는 방식은 증기 농도가 불규칙해 동일한 품질의 박막을 여러 개 얻기 힘들고 합성 가능한 크기도 한계가 있다.

이 때문에 액체원료(액상 전구체)를 이용한 방식이 주목을 받고 있지만 액체 원료를 쓸 경우 합성된 소재의 결정성과 같은 품질이 떨어지는 문제가 있다

연구팀은 액상 전이금속 원료를 기판위에 코팅해 증기 상태 칼코겐 원소와 반응 하도록 하는 방식을 썼다. 액상 원료 속 반응 촉진제(금속 할라이드)가 '칼코겐화' 화학 반응을 촉진해 결정성이 우수한 화합물을 쉽게 얻는다.

또 촉진제를 쓰면 화합물이 수직방향이 아닌 수평 방향으로만 성장해 하나의 얇은 층으로만 이뤄진 전이금속 칼코겐 화합물 합성이 가능하다.

[울산=뉴시스] 구미현 기자 = UNIST 박혜성 교수와 성균관대학교 강주훈 교수(왼쪽부터) 2021.03.08. photo@newsis.com *재판매 및 DB 금지

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개발된 합성법은 전이금속 칼코겐 화합물의 종류에 관계없이 쓸 수 있다. 연구팀은 몰리브덴, 텅스텐과 같은 전이금속과 황, 셀레늄과 같은 칼코겐 원소 조합을 바꿔 다양한 단층 전이금속 칼코겐 화합물을 합성해냈다.

UNIST 신소재공학과 박혜성 교수는 “개발된 합성법은 상업화 가능한 큰 크기의 고성능·동일품질 2차원 반도체 소재를 생산 할 수 있는 기술 ”이라며 “2차원 소재 기반 전자소자 개발 및 상용화에 기여할 수 있을 것”이라고 기대했다.

이번 연구는 나노·재료 분야의 권위 학술지인 ‘ACS Nano’ 에 2월 23일자로 출판됐다. 연구 수행은 한국연구재단 중견연구자지원사업 및 기초연구실지원사업의 지원을 통해 이뤄졌다.

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