인시튜 공정 기반으로 제작한 전자피부[사진=뉴스1]

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[서울경제TV=정명진 인턴기자] 한국전자통신연구원(ETRI)은 반도체 청정 공정 시설인 '클린룸'이 없어도 넓은 면적의 전자피부를 제작할 수 있는 기술을 개발했다고 24일 밝혔다.

전자피부는 사람 피부처럼 압력이나 접촉을 감지하는 얇고 유연한 센서로, 지능형 로봇의 정밀한 촉각 구현에 활용될 핵심 기술이다. 기존 유연 전자 센서는 마스크 공정과 진공 증착과 식각 등 반도체 제조 공정을 거쳐야 했기 때문에 비싼 가격의 클린룸 설비가 필수적이라서 제작 과정이 복잡하고 비용이 많이 들었다. 특히 사람과 유사한 형태의 휴머노이드 로봇처럼 넓은 표면에 촉각 센서를 부착하려면 공정 안정성과 신뢰성을 동시에 확보하는 데 어려움이 뒤따랐다.

연구진은 이러한 한계를 줄이기 위해 UV 레이저와 3D 프린터만으로 별도 마스크 공정 없이 필요한 위치에서 센서를 바로 제작할 수 있는 마스크리스 공정 기술을 고안했다. 공정 단계를 획기적으로 단순화해 제작 효율을 높였고, 고가의 클린룸 설비 의존도를 크게 낮출 수 있게 됐다. 아울러 공정을 별도로 분리하거나 이송하지 않고 하나의 연속된 과정으로 제자리에서 센서를 제작할 수 있으며, 곡면이나 굴곡이 있는 복잡한 형상의 대상에도 자유롭게 적용할 수 있다.

김혜진 ETRI 책임연구원은 "이번 기술은 대면적 유연 센서 제작의 진입 장벽을 크게 낮추는 동시에 로봇과 인간 상호작용 기술 구현 가능성을 한 단계 발전시키는 핵심 기술"이라며 "향후 지능형 로봇과 웨어러블 디바이스 등에 적용할 수 있을 것"이라고 말했다. /myngjin@sedaily.com

정명진 기자 myngjin@sedaily.com

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