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[디지털데일리 김도현기자] 인테그리스가 화학기계연마(CMP) 슬러리 필터 테스트 장비를 한국기술센터에 도입했다고 16일 밝혔다. 이곳은 반도체 필터 테스트, 첨단 증착 소재, 표면 처리 및 집적에 대한 연구 장비를 갖춘 시설이다.

CMP 슬러리 필터 테스트는 반도체 공정에 오염물질을 제어하는 인테그리스 '클린 케미컬 딜리버리 솔루션'의 핵심 구성 요소다. 첨단 노드와 핵심 반도체 공정의 수율, 신뢰성 및 성능 향상에 도움이 된다.

인테그리스는 '칩 디자인 아키텍처가 복잡해지고, 반도체 민감도가 높아지면서 공정의 오염물질 제어에 대한 수요도 증가하고 있다'며 '자사는 이번 한국기술센터 확장을 통해 반도체 공정에서 사용되는 모든 종류의 케미컬, 솔벤트 및 CMP 슬러리 필터 테스트 장비를 갖추게 됐다'고 설명했다.

이를 통해 한국기술센터는 국내 주요 벌크 슬러리 제조사 및 종합 반도체 업체(IDM) 고객사와 POU(point-of-use) 필터 공동 평가를 성공적으로 완료했다.

클린트 헤리스 인테그리스 미세오염 제어 부문 수석부사장은 '최근 고객들은 인공지능(AI), 자율주행, 블록체인, 사물인터넷(IoT) 등 늘어나는 메모리 칩 수요를 충족시키고자 노력하고 있다'며 '자사는 한국기술센터에 지속적으로 투자를 진행하고, 글로벌 기술센터와의 협업을 통해 고객이 겪고 있는 반도체 수율, 신뢰성 및 성능에 관련된 중요 과제를 해결할 수 있도록 지원할 것'이라고 말했다.

한편 인테그리스는 경기도 화성과 수원, 강원도 원주 등의 제조 및 서비스 시설에서 특수 가스 및 케미컬, 밸브, 피팅, 튜브 생산 및 펌프 테스트를 포함하는 광범위한 첨단 솔루션을 국내 고객에게 공급하고 있다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr

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