회사측은 “이번 특허는 기판지지유닛의 히터샤프트의 중공부를 이용해 기판의 중앙부의 온도제어를 가능하게 하는 기판지지유닛 및 이를 구비한 기판처리장치에 대한 것”이라며 “장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
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