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06.16 (일)

반도체 적층기술 개발… 삼성전자, 칩 생산 성공

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삼성전자가 초미세 반도체 공정에서 입체(3차원)로 층층이 쌓아올리는 적층(積層) 기술을 개발했다. 메모리 반도체에 이어 2030년 시스템 반도체 분야에서도 선두로 나서겠다는 삼성의 전략에 보탬이 되는 기술이다.

삼성전자는 7나노 EUV(극자외선) 시스템 반도체에 3차원 적층 패키지 기술인 엑스 큐브(X-Cube)를 적용해 테스트 칩을 생산하는 데 성공했다고 13일 밝혔다.

[성호철 기자]

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