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인피니티시마 초고속 인라인 원자력 현미경(AFM) 시스템 '메트론 3D 300㎜' |
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인피니티시마는 SK하이닉스 D램 양산라인에 초고속 인라인 원자력 현미경(AFM) 시스템 '메트론 3D 300㎜'를 공급했다고 9일 밝혔다.
메트론 3D는 인피니티시마 고유 기술로 고속 레이저와 간섭계 기반 계측을 구현한다고 설명했다. 경쟁사 대비 최대 100배 빠른 계측 속도를 지원한다고 주장했다. 자동화된 웨이퍼 핸들링 시스템도 지원한다.
인피니티시마(는 2001년 영국 브리스톨대 스핀아웃(Spin-out)으로 설립됐다. 지난해 국내 원익그룹과 미국 어플라이드 머티어리얼즈 등으로부터 투자를 유치하기도 했다.
박진형 기자 jin@etnews.com
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